联合共赢,研究院引进二次离子质谱(SIMS)技术首席科学家
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为打造功能齐备、开放共享、特色鲜明的综合性支撑平台,研究院积极推进与业界专家、专业机构联合共建实验室,不断提升全产业链系统级服务能力。


围绕测试分析服务能力提升,7月中旬,研究院正式与苏州微分科技有限公司联合共建二次离子质谱(SIMS)技术联合实验室,并聘请苏州微分高玉民博士为国家第三代半导体技术创新中心(苏州)的SIMS技术首席科学家,双方合作共同研发第三代半导体材料SIMS测试分析技术,全方位提升国内SIMS测试分析技术整体服务水平。




二次离子质谱(SIMS)是一种检测小范围固体表面化学成分的表面分析技术。以其独特的性能-灵敏度高、分辨率好、能做三维分析等,目前已广泛应用于半导体微电子、化学、材料、地质、生物医药等行业。尤其是微量成分的分析方面,在半导体产生中微量元素的掺杂方面还没有其他技术能代替它。


聘任仪式上,高玉民博士开展了“SIMS在氮化镓等第三代半导体材料材料的微区衡量元素析和三维成像分析应用”的专题报告,从SIMS的基本原理和种类,层层递进,阐明了SIMS具有高空间分辨率和低检出限的特征,在定量表征半导体材料微区痕量元素方面有着突出优势,以生动鲜活的测试案例,拓宽了大家的思路和视野。





二次离子质谱(SIMS)是一种检测小范围固体表面化学成分的表面分析技术。以其独特的性能-灵敏度高、分辨率好、能做三维分析等,目前已广泛应用于半导体微电子、化学、材料、地质、生物医药等行业。尤其是微量成分的分析方面,在半导体产生中微量元素的掺杂方面还没有其他技术能代替它。


聘任仪式上,高玉民博士开展了“SIMS在氮化镓等第三代半导体材料材料的微区衡量元素析和三维成像分析应用”的专题报告,从SIMS的基本原理和种类,层层递进,阐明了SIMS具有高空间分辨率和低检出限的特征,在定量表征半导体材料微区痕量元素方面有着突出优势,以生动鲜活的测试案例,拓宽了大家的思路和视野。


高博士在国外潜心研究二次离子质谱(SIMS)技术30多年,既有丰硕的学术研究成果,又在美国知名公司成功开发了商业化测试服务,他的加入将使研究院SIMS测试服务能力直接与国际一流水平接轨,此外为人才的培养也奠定了良好的基础。下个月研究院最高配置标准的SIMS设备将抵达,三台SIMS设备配以高水平高质量的服务,将为国内第三代半导体企业保驾护航。


高玉民,法国巴黎居里大学(Pierre et Marie Curie University)材料学博士,是法国Probion Analysis首席执行官。在二次离子质谱(SIMS)在内的表面和材料分析技术方面有超过30多年丰富的工作经验。曾任职于法国国家电信研究中心,法国国家研究中心(French National Research Center)和卢森堡大学(University of Luxembourg)。先后受聘为美国硅谷埃文思EAGSIMS经理,安捷伦科技公司和飞利浦照明公司光电部顾问等。曾在硅谷创立AML Inc.公司,提供SIMS和其他分析服务。


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