深紫外荧光光谱、时间分辨光谱
表面等离激元、近场光电流、载流子浓度
材料缺陷、外延取向、晶体结构、组成成分
材料缺陷、表面界面、组成成分、化学价态
掺杂元素、合金成分、深度分布、杂质成像
TEM样品、微纳图形、APT样品、截面剖新、电路修补
单晶材料、表面缺陷、体内缺陷
